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cmp化学机械抛光的难点在哪儿

发布网友 发布时间:2022-04-20 09:34

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热心网友 时间:2023-07-12 16:12

介绍了半导体加工领域蓬勃发展的CMP技术。重点叙述了CMP技术的发展历程、采用的设备和消耗品,技术现状,新应用以及该技术主要使用的SiO2CMP浆料的制备技术。

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