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半导体行业里,将硅片等晶片进行涂胶、软烘、曝光、显影、硬烤,使其光刻出一定图形,这种工艺也叫黄光。是精细电路的制程工艺之一。
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半导体行业里,将硅片等晶片进行涂胶、软烘、曝光、显影、硬烤,使其光刻出一定图形,这种工艺也叫黄光。是精细电路的制程工艺之一。