当前中国有能力自己生产光刻机吗？

发布网友发布时间：2022-04-21 07:34

共6个回答

懂视网时间：2022-04-21 11:55

中国有光刻机，位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机，形成产品系列初步实现海内外销售。正在进行其他各系列产品的研发制作工作。

　　光刻机（Mask Aligner）是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。其分为两种，一种是模板与图样大小一致的contact aligner，曝光时模板紧贴晶圆；另一种是利用类似投影机原理的stepper，获得比模板更小的曝光图样。高端光刻机被称为“现代光学工业之花”，制造难度很大，全世界只有少数几家公司能制造。

　　光刻机的品牌众多，根据采用不同技术路线的可以归纳成如下几类：高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常在十几纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界上已有7000万美金的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰ASML（镜头来自德国），日本Nikon（intel曾经购买过Nikon的高端光刻机）和日本Canon三大品牌为主。

热心网友时间：2022-04-21 09:03

当前中国有能力自己生产光刻机，上海微电子装备有限公司通过十七年的“卧薪尝胆”，持续攻关，基本掌握了高端光刻机的集成技术，并部分掌握了核心部件的制造技术，实现了“用中国人的光刻机造中国芯”的梦想。

光刻机是一个由几万个精密零件、几百个执行器传感器、千万行代码组成的超复杂思维系统，要制造出光刻机，不仅仅需要科学技术上的攻关突破，还需要将大量的技术集成起来。

扩展资料：

高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常七纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界上已有1.2亿美金一台的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，全世界只有少数几家公司能够制造。

国外品牌主要以荷兰ASML（镜头来自德国），日本Nikon（intel曾经购买过Nikon的高端光刻机）和日本Canon三大品牌为主。位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机，形成产品系列初步实现海内外销售。正在进行其他各系列产品的研发制作工作。

参考资料来源：人民网——上海微电子的光刻机诞生之路

热心网友时间：2022-04-21 10:21

当前中国肯定是有自己的能力生产光刻机的，只是技术确实跟人家有一定的差别，这个也是没办法的，毕竟在这种高端科技上确实有差距的，只能慢慢的缩短距离

热心网友时间：2022-04-21 11:56

当然能， low-end的肯定没问题，问题是谁会要买呢？都没市场了。别说光刻机整机了，就是2nd source的parts价格便宜一半以上了吧？质量和售后如何？用的话也要掂量掂量。光刻机的lens还没听说有换2nd source的呢。

热心网友时间：2022-04-21 13:47

有的，在上海smee公司能够生产90纳米工艺的光刻机，处于光刻机低端产品，望采纳

热心网友时间：2022-04-21 15:55

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