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(1)在表面形成有第一电极单元的基板上形成多层膜;
(2)在含有惰性气体和硒源的退火环境中对多层膜进行硒化处理,使多层膜形成具有黄铜矿晶相的吸收层;
(3)在吸收层上形成第一缓冲层;
(4)在第一缓冲层上形成第一缓冲层形成第二缓冲层;
(5)在第二缓冲层上形成透明导电层;
(6)在透明导电层上形成第二电极单元。
步骤(1)包括以下步骤:
(1.1)在第一电极单元上溅射含有Cu、Ga和KF的第一复合膜
(1.2)在第一电极单元上溅射含有Cu、Ga和KF的第一复合膜体在Ga和KF的第一复合膜体上溅射In膜体,简化了制作工艺,节省了时间和成本。